9 Ağustos 2022'de Başkan Joe Biden Çip ve Bilim Yasasını resmen imzaladı. ABD yarı iletken endüstrisine yönelik 54,2 milyar dolarlık desteğin altında, "sübvanse edilen şirketlerin yarı iletken endüstrisine ilişkin olarak Çin ve ilgili ülkelerde on yıl boyunca önemli açılımlar yapamayacakları" da açıkça belirtiliyor. Aynı zamanda Amerika Birleşik Devletleri, Güney Kore gibi diğer yarı iletken endüstrisi güç merkezleriyle de sık sık eylemlerle bir çip ittifakı kurdu.
Çin'in yerli yongalarının ithal yongaların yerini alacak gelecekteki gelişimi kaçınılmaz bir sonuç haline geldi, ilgili endüstriyel uygulamaların acilen geliştirilmesi gerekiyor. Yerli lazer temizleme alanı lideri ve öncüsü olarak su damlası lazer, aynı zamanda Çin'in yarı iletken gelişimini hızlandırmayı umarak çip imalat endüstrisinde lazer temizleme makinesinin uygulama olasılığını araştırmak için araştırma ve geliştirme maliyetlerine sürekli yatırımda. endüstri üzerine düşeni yapsın.
Yonga imalat endüstrisinde, sektör genelinde yarı iletken temizliği, toplam üretim sürecinin yüzde 30'undan fazlasını oluşturan adımlar, 40 milyardan fazla pazar alanıyla gofretlerin kalitesini ve çip performansını etkileyen önemli bir süreçtir. Önem ve ekipman pazar ölçeğinde, litografi ve diğer çekirdek ekipman kadar önemli olmasa da, yonga üretiminin vazgeçilmez bir halkası olarak üreticilerin verimi ve ekonomik faydaları hayati bir etkiye sahiptir.
Şu anda, çip üretim süreci karmaşıklık seviyesini geliştirmeye devam ettikçe, gofret yüzey kirleticilerinin kontrolüne yönelik gereksinimler gelişmeye devam ediyor; litografi, aşındırma, biriktirme ve diğer tekrarlanan süreçlerin her adımından sonra, bir adım temizleme işlemi gerekiyor. temizleme işleminin tüm işlemler arasında en sık görüleni olduğu ve gelecekte daha da artacağı kesindir.
İşlem düğümü 2018'de 10nm'ye ulaştığında, temizleme parametreleri için silikon plaka gereksinimleri belirli bir yüksekliğe ulaşır: yüzey parçacıkları ve COP yoğunluğu 0,1 / c㎡'den az, yüzey kritik metal element yoğunluğu 2,5 * 10⁹at'tan az / c㎡. Şu anda, birkaç yerli işletme 7nm işlem düğümü yapabilir ve TSMC, Samsung vb.
Mevcut gofret temizleme yöntemleri, esas olarak ıslak temizleme ve kuru temizlemenin bir kombinasyonunu kullanan daldırma, döner sprey, mekanik fırçalama, ultrasonik, megasonik, plazma, gaz fazı, ışın akışı vb.'dir, ıslak temizleme ana akımdır, ancak olacaktır. grafik hasarı, COP (100nm veya daha fazla boşluk), vb. gibi malzemede hafif hasar, uygulamanın üretim hattı bölümünde daha temiz bir temizleme teknolojisi olarak kuru temizleme, Beklentiler daha umut vericidir.
Toz parçacıkları, metaller, organik maddeler, oksitler vb. Gibi yüzey kirliliğinin gofret üretim süreci için kuru temizleme olarak lazer temizleme makinesi iyi bir temizleme etkisine sahiptir ve etkinin doğruluğu daha kontrol edilebilir, ancak var artık yetişkin ev içi uygulama örnekleri yok, gofret yüzeyimizi paylaşmak için su damlası lazeri
Gelişmekte olan bir endüstriyel temizleme teknolojisi olan lazer temizleme makinesi, gofret üretim sürecinde pratik uygulama örneği olarak Çin'de henüz duyulmamıştır. Ancak ön temizleme testlerinde, yarı iletken alanında lazer temizlemenin hala umut verici olduğu görülebilir, daha önce hiç kimse ön teknik denemeler yapmadı. Çin'in yarı iletken endüstrisinin gelişmesine yardımcı olmak için çip üretim uygulamasında lazer temizleme olasılığını daha sonra keşfedeceğiz.
